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半導(dǎo)體等行業(yè)超純水系統(tǒng)詳解

2019-08-224976

  一、純水之定義

  DI=Deionized?,?DI?Water?=?Deionized?Water,為去離子之意,亦即通稱之純水(PURE?WATER),近來由于半導(dǎo)體制程對設(shè)計(jì)規(guī)則之需求朝更精密更細(xì)小的趨勢發(fā)展,因而對純水水質(zhì)的要求也越趨嚴(yán)格,在此嚴(yán)格水質(zhì)要求下所制造出來稱之純水(Ultra-pure?water)。

  其狹義之意:為去離子之水,將水中之離子(如Na+、Ca2+、Mg2+、Al3+、C1-、F-、SO42-、NO3-、etc.)?予以去除,降低其離子濃度,提水之電阻值(Ω·cm)。

  其廣義之意:為除了除去水中離子之外,亦將水中之SiO2,顆粒物,細(xì)菌,有機(jī)物,微生物一并給予有限度的去除,使水達(dá)到完純凈的程度,而用于電子工業(yè)之上。

  二、18MΩ·cm純水制備工藝

  自來水進(jìn)入原水箱,通過原水泵增壓,經(jīng)砂濾器、炭濾器、阻垢劑加藥、保安過濾器,到達(dá)反滲透單元,經(jīng)兩級反滲透過濾進(jìn)入EDI單元,達(dá)到電阻率15MΩ·cm(25℃)進(jìn)入純水水箱。純水供水設(shè)計(jì)為循環(huán)方式,經(jīng)純水供水泵增壓,通過紫外線消毒器、拋光混床Tulsimer? MB 106 UP、0.22微米過濾器接入純水供水管,到達(dá)使用點(diǎn)。

  2.1 預(yù)處理單元

  采用石英砂過濾、活性炭過濾、保安過濾作為兩級反滲透的預(yù)處理。

  2.2 反滲透模塊單元

  反滲透膜是以壓力差為驅(qū)動力的液相膜分離方法,可以看作是滲透的一種反向作用。在壓力推動下,溶液中的水分子透過膜,而其它分子、離子、細(xì)菌、病毒等被截留,從而實(shí)現(xiàn)脫鹽效果,達(dá)到純化目的。

  整個(gè)反滲透系統(tǒng)由壓泵、反滲透膜、壓力容器以及相應(yīng)的儀器、儀表、閥門、機(jī)架、管道及管件等組成;此外還有獨(dú)立的化學(xué)清洗裝置。

  2.3 EDI模塊單元

  EDI技術(shù)是將膜法和離子交換法結(jié)合起來的新工藝,基本原理主要包括離子交換、直流電場下離子的選擇性遷移及樹脂的電再生。水中的離子首先通過交換作用吸附于樹脂顆粒上,再在電場作用下經(jīng)由樹脂顆粒構(gòu)成的“離子傳輸通道”遷移到膜表面并透過離子交換膜進(jìn)入濃室。由于離子的交換、遷移及離子交換樹脂的電再生相伴發(fā)生,猶如邊工作邊再生的混床離子交換樹脂柱,因此可以連續(xù)不斷地制取質(zhì)量的純水、純水。

  EDI系統(tǒng)由增壓泵、膜堆、電源以及相應(yīng)的儀器、儀表、閥門、機(jī)架、管道等組成。

  2.4 拋光混床模塊單元

  純水終端混床樹脂是在其嚴(yán)格的工藝控制條件下制成的,樹脂經(jīng)過特別的處理,再生轉(zhuǎn)型已接近限化,故具有的再生效率和低的雜質(zhì)含量,并具有強(qiáng)的交換能力和很的機(jī)械強(qiáng)度。 純水終端混床樹脂無需再生,就可廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)純水制備;實(shí)驗(yàn)室純水;效液相色譜用純水;含放射物處理;藥品;半導(dǎo)體行業(yè);凝結(jié)水以及其它各種水處理工藝的終端混床精處理。的混床樹脂可確保出水水質(zhì)達(dá)到穩(wěn)定,產(chǎn)水水質(zhì)16~18.2MΩ,生產(chǎn)質(zhì)量的純無硅純水。

  2.5 供水單元

  純水供水循環(huán)采用254nm紫外線殺菌、拋光混床脫鹽、0.22微米過濾,達(dá)到用戶的純水水質(zhì)要求。

  為保證純水的以及生物學(xué)指標(biāo),在純水制備的終端設(shè)置精度為0.22μm的微濾膜過濾器,用于截留去除脫鹽設(shè)備出水中的微粒以及細(xì)菌尸體。由于0.22μm的微濾膜膜過濾器為整個(gè)脫鹽工藝的后一道處理設(shè)備,因此又稱終端過濾器。過濾器內(nèi)裝折疊式微孔濾膜,過濾精度0.22μm,過濾器出口設(shè)置壓力表。過濾器經(jīng)過一段時(shí)間的運(yùn)行后,濾膜表面截留了大量雜質(zhì),使濾膜堵塞,導(dǎo)致工作壓力增加,當(dāng)進(jìn)出口壓力差增大到某一設(shè)定值時(shí),更換濾膜。

  終端過濾器由罐體、0.22μm濾芯、壓力表組成。

  適用于生產(chǎn)半導(dǎo)體集成電路、顯示器、硬盤、CD﹣ROM等用水。在進(jìn)水得到充分的處理及合理的混床設(shè)計(jì)情況下,Tulsimer? MB 106 UP的出水電阻率能達(dá)到>18.25MΩ。

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